幹式真空泵的應用範圍

點擊次數:   更新时间:19/12/03 15:52:12     来源:www.tienlan.com關閉分    享:
  原有的機械真空泵普遍存在著工作介質返流的現象,這一現象會影響到産品的品質,讓設備的維護變的艱難,但如果使用的是幹式真空泵就不會出現這一現象,因此它在多個行業中推廣開來。那麽它具體都能夠應用在哪些領域呢?
  1、低壓化學氣相沈積中的多晶矽制備工藝中;
  2、半導體刻蝕工藝。在這些生産工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒;
  3、除半導體工藝外的某些産生微粒的工藝,不希望微粒混入泵油中,而微粒排出泵外,則用一定型式的幹式真空泵可以滿足要求;
  4、在化學工業、醫藥工業、食品工業中的蒸餾、幹燥、脫泡、包裝等;
  5、將真空泵用做一般無油清潔真空系統的前級泵,以防止油汙染。
  幹式真空泵的應用要還是在以上幾個方面,從而達到理想的使用效果。並且隨著其性能的逐漸提升,該設備的應用範圍也在逐漸擴大,從而被更多的企業所使用。2021.6.29

幹式真空泵


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