幹式真空泵

  • 産品名稱: 幹式真空泵
  • 産品分類: 幹式真空泵系列
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  • 添加時間: 17/12/11
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  凯发AG旗舰厅APP_手机版App下载十年来一直致力于设计、生产和销售幹式真空泵,产品型号齐全,价格低,售后服务好。
  幹式真空泵是指泵能从大气压力下开始抽气,又能将被抽气体直接排到大气中去,泵腔内无油或其他工作介质,而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。

  幹式真空泵的应用是广泛的,主要有以下几个方面:
  1)低壓化學氣相沈積中的多晶矽制備工藝中;
  2)半導體刻蝕工藝。在這些生産工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒;
  3)除半導體工藝外的某些産生微粒的工藝,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,則用一定型式的幹式機械真空泵可以滿足要求;
  4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用幹式真空泵;
  5)用做一般無油清潔真空系統的前級泵,以防止油汙染。
幹式真空泵产品热销城市:山东,甘肃,河南,湖北,四川
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